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※全換気時間 クリーンルームの運用で大切なのは、一旦汚染されたものがどの位の時間で清浄度を回復するかです。 ここでは全領域が通常空気のコンタミで汚染されている状態から目標の清浄度になる時間を全換気時間と表現しています。 (全換気時間は平均値を記載しており、環境によって変動します。)
テーブル上の作業エリアをクリーン化したい場合に適しており、並び作業、対面作業も可能です。従来のクリーンベンチのように周りを囲う必要がないので作業性に優れています。
オープンクリーンシステムのクリーン空間は作業に強く内部が汚染されません。換気装置(プッシュフード)から次々と送られてくる風はその密度勾配により外へ外へと押し出す力が働くため、少々の外乱に負けません。 そのため、コヒーレントな気流で微風速ながらタフなクリーン空間を形成し、囲いがなくても清浄度が維持されます。
一般的なクリーンベンチと比べた外乱への強さをはじめ、作業性の高さなどから、 多くの企業や信頼性のあるデータを求める研究機関が採用しています。
オープンクリーンシステム KOACHは、超極細繊維のエアフィルターと気流制御機構を搭載した換気装置であるプッシュフード、2台を対向させて設置します。
基礎技術の一つはプッシュフードから吹き出されるプッシュ気流です。この気流はフィルターを通過した清浄空気を同一ベクトル、つまり方向と風速がすべて同様に調整された微風速(0.2~0.5m/sec)の集合流です。
気流復元性
対向させる2つのプッシュフードから送り出された2つの気流は中心でぶつかり、プッシュフード間ゾーンから外側に排出されるようになります。 プッシュフードから吹き出した気流が中央で衝突することで、完全なクリーン空間が形成されます。
通常、コヒーレントな気流であっても、周りが囲われていなければ吹き出し面から離れるにしたがって周囲の空気を誘引してしまい、徐々に清浄領域が狭まります。
対向型気流によって周囲の空気の誘引が抑制されるため、吹き出し面から離れた位置でもゾーン内の清浄度の低下はほとんど見られません。
HEPAフィルター並みの圧損でULPAフィルター並みの捕集性能の超極細繊維(ナノファイバー)のエアフィルター「FERENA(フェリナ)」を搭載しています。「FERENA」は、エレクトロスピニング(電解紡糸法)で作られます。エレクトロスピニングは、研究室レベルでは50年前に開発され、長らく製品化にチャレンジされてきましたが本格的な量産には至っていませんでした。興研はこの難関に挑み、工業化に成功し超極細繊維(ナノファイバー)エアフィルター「FERENA」は製品化されました。
フィルター拡大写真 (×10,000倍)
FERENA
市販のULPAフィルター
ベースとなるポリマーにポリビニルアルコール系樹脂(以下PVA系樹脂)を使用。一般的にPVA系樹脂で製造された繊維径は200~300nmが限界とされていますが、「FERENA」はナノファイバー(100nm以下の繊維)が高い比率で存在しています。
乾式法でありながらランダム構造を形成し、繊維の交差部分は融着状態になっているため、フィルターとして非常に有効です。
通常PVA系樹脂製は、耐水・耐油性に劣るとされていますが、特殊なフッ素系樹脂を複合化することで、耐水・耐油性にも優れています。
耐熱試験(温度:70℃、12時間)後も、フィルターとしての性能低下はほとんど見られません。
ガラス繊維を全く使用しないので、ボロンの発生がありません。
仕様表
規格の比較表